薄膜測厚儀當載有高頻電流的探頭線圈置于被測金屬表面時，由于高頻磁場的作用而使金屬體內(nèi)產(chǎn)生渦流，此渦流產(chǎn)生的磁場又反作用于探頭線圈，使其阻抗發(fā)生變化，此變化量與探頭線圈離金屬表面的距離（即覆蓋層的厚度）有關(guān)，因而根據(jù)探頭線圈阻抗的變化可間接測量金屬表面覆蓋層的厚度。常用于測定鋁材上的氧化膜或鋁、銅表面上其他絕緣覆蓋層的厚度。